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電子工業(yè)VOC廢氣怎么處理?選用那些處理設(shè)備比較好(voc廢氣處理一般用什么設(shè)備)

發(fā)布時(shí)間:2022-03-30 12:19:33      發(fā)布人:  瀏覽量:

VOCs排放涉及涂裝行業(yè)、農(nóng)藥醫(yī)藥、石油化工行業(yè)、涂料油墨染料生產(chǎn)、家具制造業(yè)、印刷業(yè)、干洗業(yè)、電子工業(yè)、合成革與人造革等行業(yè)。

電子工業(yè)是VOCs排放的主要行業(yè)之一,電子工業(yè)廢氣VOCs排放種類(lèi)多,組分復(fù)雜。

一般來(lái)說(shuō),廢氣排放中風(fēng)量較大,VOCs濃度較低。半導(dǎo)體工藝過(guò)程中有機(jī)廢氣具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點(diǎn)。

排放VOCs廢氣中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體

現(xiàn)在有的VOC電子工業(yè)廢氣處理方法可以簡(jiǎn)單分為兩大類(lèi):

一類(lèi)稱(chēng)為破壞性方法,包括蓄熱燃燒法和催化焚燒法;

另一類(lèi)稱(chēng)為回收性方法,常用的回收方法有吸收法、吸附法和光催化氧化技術(shù)。

蓄熱式熱氧化(簡(jiǎn)稱(chēng)RTO)回收熱量采用一種新的非穩(wěn)態(tài)熱傳遞方式。主要原理是:有機(jī)廢氣和凈化后的排放氣交替循環(huán),通過(guò)多次不斷地改變流向,來(lái)大限度地捕獲熱量,蓄熱系統(tǒng)提供了極高的熱能回收。

通過(guò)燃燒來(lái)消除有機(jī)物的,其操作溫度高達(dá)700℃-1,000℃,這樣不可避免地具有高的燃料費(fèi)用;為降低燃料費(fèi)用,需要回收熱量,有兩種方式:傳統(tǒng)的間壁式換熱,新型非穩(wěn)態(tài)蓄熱換熱技術(shù)。

本法是把廢氣加熱到200~300℃經(jīng)過(guò)催化床催化燃燒轉(zhuǎn)化成無(wú)害無(wú)臭的二氧化碳和水,達(dá)到凈化目的。該法適用于高溫、中高濃度的有機(jī)廢氣治理,國(guó)內(nèi)外已有廣泛使用的經(jīng)驗(yàn),效果良好。該法是治理有機(jī)廢氣的有效方法之一,但對(duì)于低濃度、大風(fēng)量的有機(jī)廢氣治理存在設(shè)備投資大、運(yùn)行成本較高的缺點(diǎn)。

利用吸附劑(粒狀活性炭和活性炭纖維)的多孔結(jié)構(gòu),將廢氣中的VOC捕獲。將含VOC的有機(jī)廢氣通過(guò)活性炭床,其中的VOC被吸附劑吸附,廢氣得到凈化,而排入大氣。

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